As semicondutorÀ medida que as tecnologias microeletrônicas evoluem para maior desempenho e integração, requisitos mais elevados são impostos à pureza dos gases especiais para a eletrônica. A tecnologia de tubulação de gás de alta pureza é uma parte importante do sistema de fornecimento de gás de alta pureza. É a tecnologia-chave para o fornecimento de gases de alta pureza que atendem aos requisitos para os pontos de uso de gás, mantendo a qualidade qualificada.
A tecnologia de tubulação de alta pureza inclui o projeto correto do sistema, a seleção de conexões de tubulação e materiais auxiliares, construção, instalação e testes.
01Conceito geral de tubulação de transmissão de gás
Todos os gases de alta pureza e alta limpeza precisam ser transportados até o ponto final de gás por meio de gasodutos. Para atender aos requisitos de qualidade do processo de gás, quando o índice de exportação de gás é determinado, é ainda mais necessário prestar atenção à seleção do material e à qualidade da construção do sistema de tubulação. Além da precisão do equipamento de produção ou purificação de gás, ela é amplamente afetada por diversos fatores do sistema de gasodutos. Portanto, a seleção dos tubos precisa obedecer aos princípios relevantes da indústria de purificação e indicar o material dos tubos nos desenhos.
02A importância dos gasodutos de alta pureza no transporte de gás
A importância dos gasodutos de alta pureza no transporte de gás de alta pureza. Durante o processo de fundição de aço inoxidável, cada tonelada pode absorver cerca de 200 g de gás. Após o processamento do aço inoxidável, não apenas vários poluentes ficam retidos em sua superfície, mas também uma certa quantidade de gás é absorvida em sua estrutura metálica. Quando há fluxo de ar passando pelo gasoduto, a parte do gás absorvida pelo metal reentra no fluxo de ar e polui o gás puro.
Quando o fluxo de ar na tubulação é descontínuo, o tubo forma adsorção de pressão no gás que passa por ele. Quando o fluxo de ar para de passar, o gás adsorvido pela tubulação forma análise de redução de pressão, e o gás analisado também entra no gás puro na tubulação como impureza.
Ao mesmo tempo, o ciclo de adsorção e análise fará com que o metal na superfície interna do tubo produza uma certa quantidade de pó. Essa partícula de pó metálico também polui o gás puro no tubo. Essa característica do tubo é muito importante. Para garantir a pureza do gás transportado, é necessário não apenas que a superfície interna do tubo tenha uma lisura extremamente alta, mas também que tenha alta resistência ao desgaste.
Quando o gás apresenta fortes propriedades corrosivas, tubos de aço inoxidável resistentes à corrosão devem ser utilizados na tubulação. Caso contrário, pontos de corrosão aparecerão na superfície interna do tubo devido à corrosão. Em casos graves, grandes pedaços de metal se desprenderão ou até mesmo perfurarão, contaminando o gás puro transportado.
03Material do tubo
A seleção do material do tubo deve ser feita de acordo com as necessidades de uso. A qualidade do tubo é geralmente medida pela rugosidade da superfície interna. Quanto menor a rugosidade, menor a probabilidade de conter partículas. Geralmente, são divididos em três tipos:
Um éTubo EP grau 316L, que foi polido eletroliticamente (Eletropolimento). É resistente à corrosão e possui baixa rugosidade superficial. Rmáx (altura máxima do pico ao vale) é de cerca de 0,3 μm ou menos. Possui a mais alta planura e não é fácil de formar microcorrentes parasitas. Remova as partículas contaminadas. O gás de reação utilizado no processo deve ser canalizado neste nível.
Um é umBA grau 316LTubos tratados por Recozimento Brilhante (Bright Anneal) são frequentemente utilizados para gases que entram em contato com o cavaco, mas não participam da reação do processo, como GN2 e CDA. Um deles é o tubo AP (Recozimento e Separação), que não recebe tratamento especial e é geralmente utilizado para conjuntos duplos de tubos externos que não são utilizados como linhas de suprimento de gás.
04 Construção de gasoduto
O processamento da boca do tubo é um dos pontos-chave desta tecnologia de construção. O corte e a pré-fabricação do duto são realizados em um ambiente limpo e, ao mesmo tempo, é garantido que não haja marcas ou danos prejudiciais na superfície do duto antes do corte. Os preparativos para a descarga de nitrogênio no duto devem ser feitos antes da abertura do duto. Em princípio, a soldagem é usada para conectar dutos de transmissão e distribuição de gás de alta pureza e alta limpeza com grande fluxo, mas a soldagem direta não é permitida. Juntas de revestimento devem ser usadas e o material do tubo utilizado deve ser mantido inalterado durante a soldagem. Se o material com alto teor de carbono for soldado, a permeabilidade ao ar da parte soldada fará com que o gás dentro e fora do duto penetrem um no outro, destruindo a pureza, a secura e a limpeza do gás transportado, o que levará a sérias consequências e afetará a qualidade da produção.
Em resumo, para gasodutos de alta pureza e gasodutos especiais de transmissão de gás, deve ser utilizado um tubo de aço inoxidável de alta pureza especialmente tratado, o que faz com que o sistema de gasodutos de alta pureza (incluindo gasodutos, conexões de tubos, válvulas, VMB, VMP) ocupe uma missão vital na distribuição de gás de alta pureza.
Horário da publicação: 26/11/2024