As semicondutore as tecnologias microeletrónicas se desenvolvem no sentido de um maior desempenho e maior integração, são impostos requisitos mais elevados à pureza dos gases especiais eletrónicos. A tecnologia de tubulação de gás de alta pureza é uma parte importante do sistema de fornecimento de gás de alta pureza. É a tecnologia chave para fornecer gases de alta pureza que atendam aos requisitos dos pontos de uso de gás, mantendo ao mesmo tempo uma qualidade qualificada.
A tecnologia de tubulação de alta pureza inclui o projeto correto do sistema, a seleção de acessórios para tubos e materiais auxiliares, construção, instalação e testes.
01Conceito geral de tubulação de transmissão de gás
Todos os gases de alta pureza e limpeza precisam ser transportados até o ponto terminal de gás através de gasodutos. Para atender aos requisitos de qualidade do processo de gás, quando o índice de exportação de gás é certo, é mais necessário estar atento à seleção do material e à qualidade de construção do sistema de tubulação. Além da precisão do equipamento de produção ou purificação de gás, ela é amplamente afetada por muitos fatores do sistema de dutos. Portanto, a seleção dos tubos precisa obedecer aos princípios relevantes da indústria de purificação e marcar o material dos tubos nos desenhos.
02A importância dos gasodutos de alta pureza no transporte de gás
A importância dos dutos de alta pureza no transporte de gás de alta pureza Durante o processo de fundição de aço inoxidável, cada tonelada pode absorver cerca de 200g de gás. Depois que o aço inoxidável é processado, não apenas vários poluentes ficam presos em sua superfície, mas também uma certa quantidade de gás é absorvida em sua estrutura metálica. Quando há fluxo de ar passando pela tubulação, a parte do gás absorvida pelo metal entrará novamente no fluxo de ar e poluirá o gás puro.
Quando o fluxo de ar no tubo é descontínuo, o tubo forma adsorção de pressão no gás que passa. Quando o fluxo de ar para de passar, o gás adsorvido pelo tubo forma uma análise de redução de pressão, e o gás analisado também entra no gás puro do tubo como uma impureza.
Ao mesmo tempo, o ciclo de adsorção e análise fará com que o metal na superfície interna do tubo produza uma certa quantidade de pó. Essa partícula de poeira metálica também polui o gás puro na tubulação. Esta característica do tubo é muito importante. Para garantir a pureza do gás transportado, não só é necessário que a superfície interna do tubo tenha uma lisura extremamente elevada, mas também que tenha uma elevada resistência ao desgaste.
Quando o gás tem fortes propriedades corrosivas, tubos de aço inoxidável resistentes à corrosão devem ser usados para tubulação. Caso contrário, aparecerão pontos de corrosão na superfície interna do tubo devido à corrosão. Em casos graves, grandes pedaços de metal irão descascar ou até mesmo perfurar, contaminando assim o gás puro transportado.
03Material do tubo
A seleção do material do tubo precisa ser selecionada de acordo com as necessidades de uso. A qualidade do tubo é geralmente medida de acordo com a rugosidade da superfície interna do tubo. Quanto menor a rugosidade, menor a probabilidade de transporte de partículas. Geralmente dividido em três tipos:
Um éTubo 316L de grau EP, que foi polido eletroliticamente (Electro-Polish). É resistente à corrosão e possui baixa rugosidade superficial. Rmax (altura máxima do pico ao vale) é de cerca de 0,3 μm ou menos. Tem a maior planicidade e não é fácil formar microcorrentes parasitas. Remova partículas contaminadas. O gás de reação utilizado no processo deve ser canalizado neste nível.
Um é umGrau BA 316Ltubo, que foi tratado por Bright Anneal e é frequentemente usado para gases que estão em contato com o chip, mas não participam da reação do processo, como GN2 e CDA. Um deles é o tubo AP (Annealing & Picking), que não recebe tratamento especial e geralmente é usado para conjuntos duplos de tubos externos que não são usados como linhas de fornecimento de gás.
04 Construção de dutos
O processamento da boca do tubo é um dos pontos-chave desta tecnologia construtiva. O corte e a pré-fabricação da tubulação são realizados em ambiente limpo e, ao mesmo tempo, é garantido que não haja marcas prejudiciais ou danos na superfície da tubulação antes do corte. Os preparativos para a descarga de nitrogênio na tubulação devem ser feitos antes de abrir a tubulação. Em princípio, a soldagem é usada para conectar tubulações de transmissão e distribuição de gás de alta pureza e alta limpeza com grande fluxo, mas a soldagem direta não é permitida. Devem ser usadas juntas de revestimento e o material do tubo usado não deve sofrer alterações na estrutura durante a soldagem. Se o material com teor de carbono muito alto for soldado, a permeabilidade ao ar da peça de soldagem fará com que o gás dentro e fora do tubo penetre um no outro, destruindo a pureza, secura e limpeza do gás de transporte, o que levará a sérias consequências e afetar a qualidade da produção.
Em resumo, para gasodutos de alta pureza e gasodutos especiais, deve ser usado um tubo de aço inoxidável de alta pureza com tratamento especial, o que faz com que o sistema de dutos de alta pureza (incluindo dutos, acessórios para tubos, válvulas, VMB, VMP) ocupe um missão vital na distribuição de gás de alta pureza.
Horário da postagem: 26 de novembro de 2024