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Introdução a gasodutos de gás de alta pureza para uso eletrônico

Em setores como microeletrônica, optoeletrônica e biofarmacêutica,recozimento brilhante(BA), decapagem ou passivação (AP),polimento eletrolítico (EP)O tratamento secundário a vácuo é geralmente utilizado em sistemas de tubulação limpos e de alta pureza que transportam fluidos sensíveis ou corrosivos. Produtos dissolvidos (VIM+VAR).
A. O polimento eletrolítico (EP) é um processo que melhora significativamente a morfologia e a estrutura da superfície, além de reduzir consideravelmente a área superficial real. A superfície apresenta uma película espessa e fechada de óxido de cromo, com energia próxima à de ligas metálicas convencionais, e a quantidade de material abrasivo é reduzida – geralmente adequada para aplicações eletrônicas.gases de alta pureza.
B. O recozimento brilhante (Bright Annealing) é conhecido como BA. O tratamento térmico em alta temperatura, em estado de hidrogenação ou vácuo, por um lado, elimina a tensão interna e, por outro, forma uma película de passivação na superfície do tubo para melhorar a estrutura morfológica e reduzir o nível de energia, sem aumentar a rugosidade da superfície – geralmente adequado para GN2, CDA e gases inertes não industriais.
C. Os processos de decapagem e passivação/polimento químico (Pickled & Passivated/Chemically Polished) são conhecidos como AP e CP. A decapagem ou passivação do tubo não aumenta a rugosidade da superfície, mas pode remover as partículas restantes e reduzir o nível de energia, sem diminuir o número de camadas intermediárias – geralmente utilizada em tubos de uso industrial.
 
D. O tubo limpo por dissolução secundária a vácuo Vim (Fusão por Indução a Vácuo) + Var (Refusão por Arco a Vácuo), denominado V+V, é um produto da Sumitomo Metal Company. Ele foi processado novamente sob condições de arco em estado de vácuo, o que melhora efetivamente a resistência à corrosão e a rugosidade da superfície. Grau – geralmente adequado para gases eletrônicos de alta pureza e altamente corrosivos, como: BCl3, WF6, Cl2, HBr, etc.

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Data da publicação: 08/04/2024