1. Definição do sistema de gás a granel:
Armazenamento e controle de pressão de gases inertes Tipos de gases: Gases inertes típicos (nitrogênio, argônio, ar comprimido, etc.)
Tamanho do pipeline: De 1/4 (pipeline de monitoramento) a pipeline principal de 12 polegadas
Os principais produtos do sistema são: válvula de diafragma/válvula de fole/válvula esférica, conector de alta pureza (videocassete, forma de soldagem), conector de virola, válvula reguladora de pressão, manômetro, etc.
Atualmente, o novo sistema também inclui um sistema de gás especial a granel, que utiliza cilindros fixos de gás ou caminhões-tanque para armazenamento e transporte.
2. Definição do Sistema de Purificação:
Remoção de impurezas de gases a granel para gasodutos de alta pureza
3. Definição de Armários de Gás:
Fornece controle de pressão e monitoramento de fluxo para fontes de gases especiais (gases tóxicos, inflamáveis, reativos e corrosivos) e tem a capacidade de substituir cilindros de gás.
Localização: Localizada no piso da Sub-fábrica ou piso inferior para armazenamento de gases especiais. Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Tamanho do gasoduto: Gasoduto interno, geralmente 1/4 de polegada para gasoduto de processo, 1/4-3/8 de polegada principalmente para gasoduto de purga de nitrogênio de alta pureza.
Principais produtos: Válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retenção, manômetros, manômetros, conectores de alta pureza (VCR, forma de soldagem). Esses gabinetes de gás contêm basicamente recursos de comutação automática para cilindros para garantir o fornecimento contínuo de gás e a substituição segura dos cilindros.
4. Definição de Distribuição:
Conectando a fonte de gás à bobina de coleta de gás
Tamanho da linha: Na fábrica de chips, o tamanho do gasoduto de distribuição de gás a granel geralmente varia de 1/2 polegada a 2 polegadas.
Forma de conexão: Os gasodutos especiais são geralmente conectados por soldagem, sem qualquer conexão mecânica ou outras partes móveis, principalmente porque a conexão de soldagem possui forte confiabilidade de vedação.
Em uma fábrica de chips, existem centenas de quilômetros de tubos conectados para transmitir gás, que têm basicamente cerca de 6 metros de comprimento e são soldados entre si. Algumas curvas de tubos e conexões tubulares soldadas também são muito comuns.
5. Caixa de válvula multifuncional (Caixa do coletor de válvula, VMB) Definição:
É distribuir gases especiais da fonte de gás para diferentes equipamentos.
Tamanho do pipeline interno: pipeline de processo de 1/4 de polegada e pipeline de purga de 1/4 - 3/8 de polegada. O sistema pode usar controle por computador para exigir válvulas acionadas ou situações de custo mais baixo com válvulas manuais.
Produtos do sistema: válvulas de diafragma/válvulas de fole de alta pureza, válvulas de retenção, juntas de alta pureza (VCR, forma de microssoldagem), válvulas reguladoras de pressão, manômetros e manômetros, etc. - É usado principalmente VMP (disco de válvula multifuncional), que possui uma superfície de disco de gás aberta e não requer um design de espaço fechado e purga adicional de nitrogênio.
6. Placa/caixa da válvula secundária (painel de conexão de ferramentas) Definição:
Conecte o gás exigido pelo equipamento semicondutor desde a fonte de gás até a extremidade do equipamento e forneça a regulação de pressão correspondente. Este painel é um sistema de controle de gás que fica mais próximo da extremidade do equipamento do que o VMB (caixa de válvulas multifuncionais).
Tamanho do gasoduto: 1/4 - 3/8 polegadas
Tamanho do gasoduto líquido: 1/2 - 1 polegada
Tamanho do gasoduto de descarga: 1/2 - 1 polegada
Principais produtos: válvula de diafragma/válvula de fole, válvula unidirecional, válvula reguladora de pressão, manômetro, manômetro, junta de alta pureza (videocassete, microssoldagem), junta de virola, válvula de esfera, mangueira, etc.
Horário da postagem: 22 de novembro de 2024