1. Definição de Sistema de Gás a Granel:
Armazenamento e controle de pressão de gases inertes. Tipos de gases: Gases inertes típicos (nitrogênio, argônio, ar comprimido, etc.)
Diâmetro da tubulação: de 1/4" (tubulação de monitoramento) a 12 polegadas (tubulação principal).
Os principais produtos do sistema são: válvula de diafragma/válvula de fole/válvula de esfera, conector de alta pureza (VCR, para soldagem), conector de virola, válvula reguladora de pressão, manômetro, etc.
Atualmente, o novo sistema também inclui um sistema especial de gás a granel, que utiliza cilindros de gás fixos ou caminhões-tanque para armazenamento e transporte.
2. Definição de Sistema de Purificação:
Remoção de impurezas de gases a granel para gasodutos de alta pureza.
3. Definição de Armários de Gás:
Fornecer controle de pressão e monitoramento de fluxo para fontes de gás especiais (gases tóxicos, inflamáveis, reativos e corrosivos), além de ter a capacidade de substituir cilindros de gás.
Localização: Localizado no piso da sub-fábrica ou no piso inferior para armazenamento de gases especiais. Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Dimensão da tubulação: Tubulação interna de gás, geralmente de 1/4 de polegada para tubulação de processo, e de 1/4 a 3/8 de polegada, principalmente para tubulação de purga de nitrogênio de alta pureza.
Principais produtos: Válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retenção, manômetros, conectores de alta pureza (VCR, para soldagem). Esses armários de gás contêm, basicamente, recursos de comutação automática para cilindros, garantindo o fornecimento contínuo de gás e a substituição segura dos cilindros.
4. Definição de Distribuição:
Conectando a fonte de gás à serpentina de coleta de gás
Dimensão da tubulação: Em uma fábrica de chips, o tamanho da tubulação de distribuição de gás a granel geralmente varia de 1/2 polegada a 2 polegadas.
Forma de conexão: Os gasodutos especiais são geralmente conectados por soldagem, sem qualquer conexão mecânica ou outras partes móveis, principalmente porque a conexão por soldagem possui alta confiabilidade de vedação.
Em uma fábrica de chips, existem centenas de quilômetros de tubos conectados para transportar gás, que têm basicamente cerca de 6 metros de comprimento e são soldados entre si. Curvas nos tubos e conexões soldadas também são muito comuns.
5. Caixa de válvulas multifuncional (Caixa de distribuição de válvulas, VMB) Definição:
Serve para distribuir gases especiais da fonte de gás para diferentes extremidades do equipamento.
Dimensões internas da tubulação: tubulação de processo de 1/4 de polegada e tubulação de purga de 1/4 a 3/8 de polegada. O sistema pode utilizar controle computadorizado para exigir válvulas acionadas ou, em situações de menor custo, válvulas manuais.
Produtos do sistema: válvulas de diafragma/fole de alta pureza, válvulas de retenção, juntas de alta pureza (VCR, forma de microsoldagem), válvulas reguladoras de pressão, manômetros e medidores de pressão, etc. Para a distribuição de alguns gases inertes, utiliza-se principalmente o Painel de Distribuição de Válvulas - VMP (disco de válvula multifuncional), que possui uma superfície de disco de gás aberta e não requer um projeto de espaço fechado nem purga adicional de nitrogênio.
6. Definição da placa/caixa da válvula secundária (Painel de Conexão de Ferramentas):
Conecte o gás necessário para o equipamento semicondutor, desde a fonte de gás até a extremidade do equipamento, e forneça a regulação de pressão correspondente. Este painel é um sistema de controle de gás que fica mais próximo da extremidade do equipamento do que a VMB (caixa de válvulas multifuncional).
Diâmetro da tubulação de gás: 1/4 - 3/8 de polegada
Diâmetro da tubulação de líquidos: 1/2 - 1 polegada
Diâmetro da tubulação de descarga: 1/2 - 1 polegada
Principais produtos: válvula de diafragma/válvula de fole, válvula unidirecional, válvula reguladora de pressão, manômetro, junta de alta pureza (VCR, microsoldagem), junta de virola, válvula de esfera, mangueira, etc.
Data da publicação: 22/11/2024