1. Definição de Sistema de Gás a Granel:
Armazenamento e controle de pressão de gases inertes Tipos de gás: Gases inertes típicos (nitrogênio, argônio, ar comprimido, etc.)
Tamanho do gasoduto: De 1/4 (gasoduto de monitoramento) a gasoduto principal de 12 polegadas
Os principais produtos do sistema são: válvula de diafragma/válvula de fole/válvula de esfera, conector de alta pureza (VCR, forma de soldagem), conector de ponteira, válvula reguladora de pressão, manômetro, etc.
Atualmente, o novo sistema também inclui um sistema de gás especial a granel, que utiliza cilindros de gás fixos ou caminhões-tanque para armazenamento e transporte.
2. Definição do Sistema de Purificação:
Remoção de impurezas de gases a granel para gasodutos de alta pureza
3. Definição de Armários de Gás:
Fornecer controle de pressão e monitoramento de fluxo para fontes de gases especiais (gases tóxicos, inflamáveis, reativos e corrosivos) e ter a capacidade de substituir cilindros de gás.
Localização: Localizado no subsolo ou no piso inferior para armazenamento de gases especiais. Fonte: NF3, SF6, WF6, etc.
Tamanho do gasoduto: Gasoduto interno, geralmente 1/4 de polegada para gasoduto de processo, 1/4-3/8 de polegada principalmente para gasoduto de purga de nitrogênio de alta pureza.
Principais produtos: Válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retenção, manômetros, manômetros, conectores de alta pureza (VCR, forma de soldagem). Esses gabinetes de gás basicamente contêm recursos de comutação automática para cilindros para garantir o fornecimento contínuo de gás e a substituição segura dos cilindros.
4. Definição de Distribuição:
Conectando a fonte de gás à serpentina de coleta de gás
Tamanho da linha: Na fábrica de chips, o tamanho do gasoduto de distribuição de gás a granel geralmente varia de 1/2 polegada a 2 polegadas.
Forma de conexão: Gasodutos especiais são geralmente conectados por soldagem, sem nenhuma conexão mecânica ou outras partes móveis, principalmente porque a conexão de soldagem tem forte confiabilidade de vedação.
Em uma fábrica de chips, há centenas de quilômetros de tubos conectados para transmitir gás, com cerca de 6 metros de comprimento e soldados entre si. Algumas curvas de tubos e conexões de soldagem tubular também são muito comuns.
5. Caixa de válvulas multifuncional (Valve Manifold Box, VMB) Definição:
É para distribuir gases especiais da fonte de gás para diferentes extremidades do equipamento.
Tamanho da tubulação interna: tubulação de processo de 1/4 de polegada e tubulação de purga de 1/4 a 3/8 de polegada. O sistema pode usar controle computadorizado para exigir válvulas acionadas ou situações de menor custo com válvulas manuais.
Produtos do sistema: válvulas de diafragma/válvulas de fole de alta pureza, válvulas de retenção, juntas de alta pureza (VCR, forma de microssoldagem), válvulas reguladoras de pressão, manômetros e medidores de pressão, etc. Para a distribuição de alguns gases inertes, o Valve Manifold Panel - VMP (disco de válvula multifuncional) é usado principalmente, que tem uma superfície de disco de gás aberta e não requer um projeto de espaço fechado e purga de nitrogênio adicional.
6. Placa/caixa de válvula secundária (Painel de conexão de ferramentas) Definição:
Conectar o gás requerido pelo equipamento semicondutor da fonte de gás até a extremidade do equipamento e fornecer a regulação de pressão correspondente. Este painel é um sistema de controle de gás mais próximo da extremidade do equipamento do que a VMB (caixa de válvulas multifuncional).
Tamanho do gasoduto: 1/4 - 3/8 de polegada
Tamanho da tubulação de líquido: 1/2 - 1 polegada
Tamanho da tubulação de descarga: 1/2 - 1 polegada
Principais produtos: válvula de diafragma/válvula de fole, válvula unidirecional, válvula reguladora de pressão, manômetro, manômetro, junta de alta pureza (VCR, microssoldagem), junta de ponteira, válvula de esfera, mangueira, etc.
Horário de publicação: 22/11/2024